 |
|
|
 |
|
 |
 |
|
|
 |
|
|
| |
クリーンベンチは、ホトリソ前工程に不可欠なクラス10（0.5μmの粒子径、周囲クラス100,000において）の無塵環境を実現します。
マスクアライナー用には、気流垂直タイプで装置組込み型が最適です。クリーンベンチ前面に柱が無く、又背面が透明な為、作業者に開放的な雰囲気を与えます。また、装置へ接続する各種の配管や配線を貫通させるスペースも有ります。
スピンコーター用には、気流垂直タイプで使いやすい標準テーブル型の他に、排気型のご用意も可能です。排気型には、排ガスのクリーンベンチ外への流出防止を重視した手前面排気型、清浄度を重視した全面（オール面）排気型と局部排気型が有ります。
いずれの場合も、レジストが感光しないよう、黄色照明、黄色スクリーン仕様となっております。また、作業寸法幅が800・1250・1550・1850mm、及び使用する装置に応じた奥行き寸法、設置する天井の高さ等により様々なタイプが選択可能です。 |
|
| スピンコーター用クリンベンチ |
アライナー組込み型クリンベンチ |
 |
 |
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
