ミカサ株式会社｜Opticoat - マスクアライナー（露光装置）等の小型ラボ機メーカー

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マスクアライナー

■　マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナーです。
■　不定形サイズの基板、シリコン・ガラス・化合物・フイルムなど様々な材質に対応可能です。
■　ご予算や用途に応じて、コリメータータイプ、マルチミラータイプ、インテグレータータイプの3種類の露光
光源を用意しております。
■　5×5㎜～100×100㎜及びφ6インチまでの基板に対応した機種を取り揃えております。
■　マスクホルダー・試料台の交換は簡単作業のため、研究開発用途に最適です。
■　アライメントスコープの対物レンズは高アライメントや膜厚などの用途に応じて4×、10×、20×の3種
類を用意しております。

M-１S

最大基板サイズ	φ3インチ	顕微鏡解像度	対物レンズ1×使用時 3.7μm
最大基板厚	2㎜
最大マスクサイズ	4×4インチ	アライメントギャップ測長機能	取付不可
UVランプハウス	コリメータータイプ
照度	＞8mW/c㎡(at405nm)	マニプレーター移動範囲	X・Y±5㎜　微動1/8㎜1回転 θ:70°微動±7° Z:3㎜　微動0.16㎜
照度均一性	＜±8.5％
露光光源	UVランプ250W
		十字動ステージ移動範囲	取付不可
露光波長	ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー	0～999.9秒タイマーセット式	空圧	無
		窒素	ハードコンタクト取付時 0.5MPa
UVランプ劣化補正機能	取付不可	真空	マスク及び基板吸着用 -0.08MPa
コンタクト方法	ソフトコンタクト (ハードコンタクト　　　　　　　　／オプション)	除振台	オプション
		電源	AC100～110V 50/60Hz 20A
アライメントスコープ	双眼実体顕微鏡（ズーム式）	外形寸法(㎜)	800W×730H×500D
		重量	100㎏

※仕様は予告なく変更する事がございます。

MA-20

最大基板サイズ	φ4インチ	顕微鏡解像度	対物レンズ20×使用時 1.2μm
最大基板厚	2㎜
最大マスクサイズ	5×5インチ	アライメントギャップ測長機能	標準装備
UVランプハウス	マルチミラータイプ
照度	＞14mW/c㎡(at405nm)	マニプレーター移動範囲	X・Y±5㎜　微動1/8㎜1回転 θ:70°微動±7° Z:4㎜(空圧駆動分1㎜/粗動 3㎜) 微動0.16㎜
照度均一性	＜±4.0％
露光光源	UVランプ500W
		十字動ステージ移動範囲	X・Y±20㎜
露光波長	ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー	0～999.9秒タイマーセット式 1～9999カウント積算光量カウンター式切り換え方式	空圧	マスクステージ/ 顕微鏡駆動用　0.5MPa
		窒素	N2ブローアップ用　0.5MPa
UVランプ劣化補正機能	標準装備	真空	マスク及び基板吸着用 -0.08MPa
コンタクト方法	ソフトコンタクト／ハードコンタクト	除振台	標準装備
		電源	AC100～110V 50/60Hz 20A
アライメントスコープ	二視野顕微鏡対物レンズ間隔18～60㎜	外形寸法 (㎜/除振台含む)	1000W×1300H×800D
		重量	290㎏

※仕様は予告なく変更する事がございます。

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露光装置	MA-20
線幅	1μm(L&S)
レジスト	OFPR-800LB(東京応化製)
膜厚	1μm

露光装置	MA-20
線幅	8μm(角ホール)
レジスト	e-PR THICK(e-chem japan製)
膜厚	6.3μm

MA-10B

≪特　徴≫
●　マニプレーターステージが±50㎜可動しアライメント位置合わせが容易
●　可動部にセンサーを設ける事により誤動作を防止
●　軽量設計　※当社MA-10比較
●　マスク落下防止用引出板付　※マスクガラス仕様に応じて作製
●　不定型サイズの基板にも対応　※真空吸着試料台を基板に応じて作製

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最大基板サイズ	φ4インチ	操作部	タッチパネル式
最大基板厚	2㎜
最大マスクサイズ	5×5インチ	インターロック機構	マスク・ウエハ吸着 Z軸下限位置ｽｺｰﾌﾟｽｲﾝｸﾞUP・DOWN位置ﾏﾆﾌﾟﾚｰﾀｰ引出ｽﾃｰｼﾞ位置
UVランプハウス	コリメータータイプ
照度	＞8mW/c㎡(at405nm)	マニプレーター移動範囲	X・Y±6.5㎜微動0.025㎜1回転 θ:50°微動±5° Z:10㎜　微動0.025㎜
照度均一性	＜±8.5％
露光光源	UVランプ250W
		十字動ステージ移動範囲	X・Y±50㎜
露光波長	ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー	0～999.9秒タイマーセット式	電源	AC100V 50/60Hz 9A
		ユーティリティ	ｴｱｰ:0.5MPa ｽｺｰﾌﾟｽｲﾝｸﾞ/ｽﾃｰｼﾞﾛｯｸ用 N2:0.5MPa　ﾊｰﾄﾞｺﾝﾀｸﾄ用真空:-0.08MPa　ﾏｽｸ/基板吸着用
UVランプ劣化補正機能	取付不可
アライメントスコープ	二視野顕微鏡対物レンズ間隔18～60㎜
顕微鏡解像度	1.2μm 対物レンズ20×使用時	外形寸法(㎜)	750W×600H×650D
		重量	約90㎏
アライメントギャップ測長機能	取付不可	オプション	専用除振台真空ポンプ三眼鏡筒モニター仕様露光光源500W仕様
コンタクト方法	ソフトコンタクト／ハードコンタクト

※仕様は予告なく変更する事がございます。

MA-60F

最大基板サイズ	φ6インチ	顕微鏡解像度	対物レンズ20×使用時 1.2μm
最大基板厚	2㎜
最大マスクサイズ	7×7インチ	アライメントギャップ測長機能	標準装備
UVランプハウス	インテグレータタイプ
照度	＞18mW/c㎡(at405nm)	マニプレーター移動範囲	X・Y±5㎜　微動1/8㎜1回転 θ:70°微動±7° Z:4㎜(空圧駆動分1㎜/粗動 3㎜) 微動0.16㎜
照度均一性	＜±5.0％
露光光源	UVランプ250W
		十字動ステージ移動範囲	X・Y±20㎜
露光波長	ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー	0～999.9秒タイマーセット式 1～9999カウント積算光量カウンター式切り換え方式	空圧	マスクステージ用　0.5MPa
		窒素	N2ブローアップ用　0.5MPa
UVランプ劣化補正機能	標準装備	真空	マスク及び基板吸着用 -0.08MPa
コンタクト方法	ソフトコンタクト　　　　　／ハードコンタクト	除振台	標準装備
		電源	AC100～110V 50/60Hz 20A
アライメントスコープ	二視野顕微鏡対物レンズ間隔18～60㎜	外形寸法 (㎜/除振台含む)	1130W×1650H×800D
		重量	360㎏

※仕様は予告なく変更する事がございます。

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露光装置	MA-60F
線幅	2μm(L&S)
レジスト	OFPR-800LB(東京応化製)
膜厚	1μm

露光装置	MA-60F
線幅	6μm(角ホール)
レジスト	e-PR THICK(e-chem japan製)
膜厚	6.2μm

M-2LF

最大基板サイズ	φ6インチ	顕微鏡解像度	対物レンズ20×使用時 1.2μm
最大基板厚	2㎜
最大マスクサイズ	7×7インチ	アライメントギャップ測長機能	取付不可
UVランプハウス	インテグレータタイプ
照度	＞18mW/c㎡(at405nm)	マニプレーター移動範囲	X・Y±5㎜　微動1/8㎜1回転 θ:70°微動±7° Z:10㎜　微動0.16㎜
照度均一性	＜±5.0％
露光光源	UVランプ250W (オプション500W仕様可)
		十字動ステージ移動範囲	オプション
露光波長	ブロードバンド(g・h・i線)
露光用タイマー	0～999.9秒タイマーセット式	空圧	無
		窒素	ハードコンタクト取付時 0.5MPa
UVランプ劣化補正機能	取付不可	真空	マスク及び基板吸着用 -0.08MPa
コンタクト方法	ソフトコンタクト (ハードコンタクト　　　　　　　　／オプション)	除振台	標準装備
		電源	AC100～110V 50/60Hz 20A
アライメントスコープ	二視野顕微鏡対物レンズ間隔18～60㎜	外形寸法 (㎜/除振台含む)	1000W×1680H×800D
		重量	280㎏

※仕様は予告なく変更する事がございます。

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