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| 線幅測定装置MIM−Lは、特に数ミクロン線幅の測定にその真価を発揮できように開発された専用ソフトにより、CCDカメラより取り込んだ画像を処理して自動的に測定し、測定者の違いによる誤差をなくした、画像寸法測定システムです。 |
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この膜厚測定システムは半導体製造において求められる膜厚測定のニーズはもちろんのこと、100ミクロンを超える膜厚測定の要求にも応えることが可能です。
膜厚の測定は、膜表面と膜と基板との界面からの反射光の光路差によって発生する干渉光のデータより膜厚を算出する方式です。光学顕微鏡とコンパクトなダイオードアイレスペクトロメータ、そしてシステムコントロール用PCという、極めてシンプルなシステム構成はコストについてのニーズをも満足させます。
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