計測領域、条件等の設定をあらかじめ設定すれば、寸法測定は自動的に行われ、従来あったカーソルを移動させて測定対象に合わせる等の操作も不要で、オペレーターによる誤差等も無く、再現性の高い測定が可能です。

サブピクセル画像処理の採用によりCCDカメラの解像度を超えた分解能で測定が可能。測定サンプルの画像コントラストの条件が良ければ、3δ値が10nm以下（対物レンズ100×時）の再現性も可能です。

半導体レーザーなど微細な線幅の寸法測定及び水晶発振子・グレーティング・センサー等のパターンを精度良く測定したい用途に最適です.拡張性の高いソフトウエア・・・本測定ソフトは、特に線幅の測定に最適なように開発されていますが、お客様のご要望に応じた特注のソフト開発も可能です。

研究開発段階から生産ライン品質検査工程まで、ご用途に応じたシステム構成があります。