高性能
■ACサーボモーターを採用 |
- ブラシレスの為、クリーンルームでのコンタミネーションに優れています。
- モーターの発熱も低減、連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も
少なくなりました。
- 低消費電力により、環境へ負担を低減。
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| ■優れた回転性能
30年にわたる実績を通じて蓄積されたミカサの技術により設計された、スピンコーター専用のサーボドライバーとソフトウエアにより、高性能を実現。その性能は他社の追従を許しません。 |
- 急峻な回転立上り及び停止特性を実現。様々な材料の開発や評価に対応できます。
- 正確な回転、5,000rpm以上の高速回転も含む全回転数において、±１ｒｐｍの高精度。
また、回転数表示は実回転数をリアルタイムで表示。
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| 低価格
製造コストの見直しを行い従来機種に比べ、性能が向上したにもかかわらず、
大幅にコストを下げました。 |
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機能
■プログラム機能を拡張 |
- 最大100ステップまでのプログラムを、10パターンメモリー可、より使いやすくなりました。
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■圧力センサーを用いたデジタル式真空ゲージを全機種標準装備 |
- フィルムまたは割れやすいウエハなどで、吸着圧を下げた場合、真空リミット動作圧力を変更することが可能。
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■回転スロープ機能（スロープアップ・ダウン）
■角基板等に便利な停止位置設定機能
■滴下装置を追加可能（MS-A150/200）
■インターロック機構（真空圧及び蓋部）※一部はオプション |
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