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home >> Opticoat >> 周辺機器 >> 現像・エッチング装置 >> HK-3000
HK-3000 −高圧スイングノズル式マスク洗浄装置−
HK-3000 特徴
高圧スイングノズルスプレー式(エア駆動式高圧プランジャー ポンプ圧送圧力:1.5〜15Mpa)
マスクサイズ 2.5"〜7"に対応
基板回転数 0〜3,000rpm(任意設定)
赤外線乾燥用500Wランプ使用
液晶タッチパネルにてプログラム入力簡単操作
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現像・エッチング装置 クリーンベンチ 露光テストマスク
     
 
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